声明
摘要
第1章 绪论
1.1 课题的研究意义
1.2 国内外现状和面临的问题
1.3 本文研究的主要内容
第2章 绝对式光电编码器工作原理
2.1 光电编码器原理概述
2.2 编码器的组成结构
2.2.1 光机部分
2.2.2 码盘与狭缝
2.2.3 编码器的硬件设计
2.2.4 矩阵码盘的译码设计
2.3 莫尔条纹的形成和细分的方法
2.3.1 光栅莫尔条纹的形成
2.3.2 莫尔条纹信号细分的方法
第3章 编码器误差来源及精度分析
3.1 装调误差
3.1.1 偏心误差
3.1.2 轴系误差
3.2 码盘的制造误差
3.3 光栅信号细分误差分析
3.3.1 李沙育图形法
3.3.2 莫尔条纹信号的衡量指标
3.3.3 影响编码器精度的因素
第4章 编码器误差检测系统
4.1 检测方法
4.1.1 静态精度测量方法
4.1.2 动态精度快速检测方法
4.2 误差检测系统构成
4.3 精度分析方法
4.3.1 自适应算法
4.3.2 傅里叶频谱分析法
4.3.3 小波分析法
4.4 系统的硬件设计与实现
4.4.1 系统的功能分析
4.4.2 误差检测系统的硬件结构概述
4.4.3 数据采集模块硬件设计
4.5 软件设计
4.5.1 编码器精度检测
4.5.2 快速傅里叶变换求细分误差
4.5.3 编码器故障分析与溯源
第5章 编码器误差补偿与试验结果
5.1 装调误差修正
5.1.1 电感测微仪检测主轴精度
5.1.2 显微镜校准偏心误差
5.2 细分误差补偿
结论
参考文献
致谢
研究生履历