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摘要
第1章 绪论
1.1 碳纳米材料的发展
1.2 石墨烯发现的历程
1.3 石墨烯的结构特点
1.4 石墨烯的制备方法
1.4.1 固相法
1.4.2 液相法
1.4.3 气相法
1.5 石墨烯的性能特点
1.5.1 电学性能
1.5.2 力学性质
1.5.3 热学性能
1.5.4 光学性能
1.5.5 化学性能
1.6 石墨烯在应用方面的研究进展
1.6.1 石墨烯太阳能电池
1.6.2 石墨烯/碳纳米管复合薄膜
1.6.3 大面积透明电极
1.6.4 石墨烯场效应晶体管
1.6.5 石墨烯储能器件
1.7 本研究的目的、意义以及研究内容
第2章 实验过程及样品表征
2.1 实验仪器的结构及工作原理
2.1.1 双室磁过滤脉冲真空弧(MEVVA)离子沉积系统
2.1.2 磁控溅射镀膜系统
2.1.3 热化学气相沉积(TCVD)管式炉
2.1.4 射频溅射设备
2.1.5 微波等离子体增强CVD (MW-PECVD)
2.2 实验过程
2.2.1 碳纳米管阵列的制备
2.2.2 类金刚石(DLC)薄膜的制备
2.2.3 射频溅射法制备石墨烯及石墨烯/碳纳米管复合结构
2.2.4 微波等离子体CVD制备石墨烯及石墨烯/碳纳米管复合结构
2.3 样品表征
2.3.1 扫描电子显微镜(SEM)
2.3.2 透射电子显微镜(TEM)
2.3.3 拉曼光谱(Raman Spectroscopy)
第3章 射频溅射法合成石墨烯
3.1 温度对石墨烯生长的影响
3.2 功率对石墨烯生长的影响
3.3 基底表面形态对石墨烯生长的影响
3.3.1 碳纳米管阵列上石墨烯的合成
3.3.2 平面基底上石墨烯的合成
3.4 石墨烯结构的拉曼光谱分析
3.5 时间对石墨烯生长的影响
3.6 本章小结
第4章 微波等离子体增强CVD法制备石墨烯
4.1 时间对石墨烯生长的影响
4.2 微波功率对石墨烯生长的影响
4.3 加热温度对石墨烯生长的影响
4.4 碳浓度对石墨烯生长的影响
4.5 本章小结
第5章 无催化合成石墨烯生长机理的研究
5.1 石墨烯的形核
5.2 石墨烯的二维生长
5.3 微波CVD法合成石墨烯的生长机理分析
5.4 本章小结
第6章 总结
致谢
参考文献