靶材粘结和超声波检测技术在液晶镀膜中的应用

摘要

液晶行业广泛使用的溅射镀膜用材料靶材在溅射时需要有背板的支撑，而靶材与背板的结合是否结实可靠则非常重要，如果粘结层的性能不能达到要求则很容易造成溅射过程中的“脱靶”，从而导致溅射镀膜失败。所谓靶材粘结就是将靶材、背板用粘结材料粘结在一起的过程。本文通过行业中最常用的铝靶，无氧铜背板，采用次贵金属铟作为粘结材料，设计了G5代铝靶的粘结工艺流程。课题主要研究了粘结工艺中时间、温度、材料性能三者之间的关系，并通过超声波探伤仪对粘结产品进行了内部探伤检测，以证实所设计工艺的可行性和可靠性。
　　 利用大型反转装置，高温加热台进行了1431×1700×12mm铝靶的粘结实验，研究了加热时间和相关参数的设置，对于粘结质量影响较大的表面氧化物的处理，以及为了提高粘结层质量而设置的超声波振荡器的应用。并利用垫具、C型卡扣对粘结后的靶材进行平面度修正。
　　 利用超声波探伤仪对粘结靶材的有效结合面、四分品的有效结合面以及单个缺陷进行检测，各项参数均符合行业标准要求。