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袁倩靖;
哈尔滨工业大学;
磁控溅射镀膜; 纯钽; 靶材; 微观组织;
机译:衬底对通过高频磁控溅射二硼化钽靶材获得的薄膜的取向和结构的影响
机译:基板对通过高频磁控溅射二硼化钽靶材获得的薄膜的取向和结构的影响
机译:使用大功率脉冲反应磁控溅射制备钽氮化钽薄膜的微观结构和电性能
机译:用于大面积应用的新型陶瓷旋转靶材的磁控溅射氧化锌锡薄膜
机译:溅射靶腐蚀及其对长时间直流磁控溅射镀膜的影响
机译:磁控溅射聚合物靶材:从薄膜到非均质金属/等离子聚合物纳米颗粒
机译:毛细管电泳在双聚焦扇形场ICP-MS上的应用,用于测定钽靶材中通过散裂反应产生的镧系元素的核素丰度
机译:用于HmC(混合微电路)应用的氮化钽,钛和钯薄膜沉积的DC磁控溅射系统的表征。
机译:基于钽的磁控溅射合金铸造靶材制造方法
机译:磁控溅射镀膜设备的靶材冷却和支撑
机译:磁性和非磁性靶材的磁控溅射镀膜源
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