声明
摘要
1绪论
1.1课题的研究背景及意义
1.2热式流量传感器的发展现状
1.2.1热损失式流量传感器
1.2.2热分布式流量传感器
1.2.3热脉冲式流量传感器
1.3国内外研究现状
1.4本文的主要研究内容
2热膜式流量传感器基本理论
2.1.1热传递的方式
2.1.2导热
2.1.3热对流
2.2热膜式流量传感器数学模型
2.2.1传感器二维模型
2.2.2传热学模型
2.2.3边界条件与模型求解
2.3试验验证
2.3.1传感器芯片电阻的温度-阻值特性
2.3.2上下游温差与流量的关系
2.4本章小结
3热膜式流量传感器及污染物的影响
3.1热膜式流量传感器
3.1.1热膜式流量传感器的结构
3.1.2热膜式流量传感器的测量原理
3.2热膜式流量传感器内部流动特性
3.2.1层流与湍流
3.2.2平均速度
3.2.3边界层
3.2.4充分发展段和入口段
3.3污染物的分布规律及其对传感器输出的影响
3.3.污染物沉积试验平台
3.3.2测量方法
3.3.3污染物沉积试验
3.3.4污染物对传感器输出的影响
3.4仿真分析及对比
3.4.1热膜式流量传感器的几何模型
3.4.2仿真模型
3.4.3芯片表面温度场分析
3.4.4污染物对芯片表面流场的影响
3.4.5污染物对芯片表面温度场的影响
3.6本章小结
4试验分析
4.1微喷成型试验平台
4.2试验结果
4.2.1污染物形态
4.2.2污染物对传感器输出的影响
4.2.3污染物对上下游测温电阻温度差的影响
4.3本章小结
5总结与展望
5.1总结
5.2展望
致谢
参考文献
附录