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摘 要
ABSTRACT
第1章 绪 论
1.1 引言
1.2 Zr-N系纳米硬质薄膜
1.2.1 研究背景
1.2.2 薄膜制备技术
1.2.3 Zr-N系多元涂层的研究现状与进展
1.3 自适应氮化物基薄膜的摩擦磨损研究进展与现状
1.4 强化机制
1.5 摩擦磨损基础理论研究
1.6 选题意义与研究内容
1.6.1 选题意义
1.6.2 研究内容
2.1 引言
2.2 薄膜的制备与设备
2.2.1 基本原理
2.2.2 制备设备
2.2.3 镀膜基片的处理方法
2.3 薄膜的表征
2.3.1 扫描电子显微镜 (SEM)
2.3.2 透射电子显微镜 (TEM)
2.3.3 能量色散谱仪 (EDS)
2.3.4 X射线衍射 (XRD)
2.3.5 纳米力学测试系统
2.3.6 摩擦磨损试验机
2.3.7 三维形貌仪
3.1 引言
3.2 薄膜制备及表征
3.2.1 薄膜制备
3.2.2 薄膜表征
3.3 结果与讨论
3.3.1 成分及微结构
3.3.2 力学性能
3.3.3 摩擦磨损性能
3.4 本章小结
4.1 引言
4.2 薄膜制备及表征
4.2.1 薄膜制备
4.2.2 薄膜表征
4.3 结果与讨论
4.3.1 成分及微结构
4.3.2 力学性能
4.3.3 摩擦磨损性能
4.4 本章小结
5.1 引言
5.2 薄膜制备及表征
5.2.1 薄膜制备
5.2.2 薄膜表征
5.3 实验结果与讨论
5.3.1 成分及微结构
5.3.2 力学性能
5.3.3 膜基结合力
5.3.4 摩擦磨损性能
5.4 本章小结
攻读学位期间发表的学术论文
致 谢
