声明
摘要
第一章 绪论
1．1 课题背景
1．2 国内外研究现状
1．2．1 生物蛋白纳米通道
1．2．2 人工合成纳米通道
1．3 纳米通道技术存在问题
1．4 研究内容和目标
1．5 论文结构
1．6 课题来源
第二章 薄膜样品的制备
2．1 引言
2．2 氮化硅薄膜的制备
2．3 石墨烯薄膜样品的制备
2．3．1 石墨烯及其制备方法
2．3．2 实验仪器及试剂
2．3．3 机械剥离法制备石墨烯
2．3．4 氧化还原法制备石墨烯
2．3．5 化学气相沉积法制备石墨烯
2．4 本章总结
第三章 固态纳米通道制备及器件的表征
3．1 引言
3．2 实验用设备及试剂
3．2 氮化硅纳米通道的制备
3．2．1 实验步骤
3．2．2 氮化硅薄膜纳米通道的制备
3．2．3 实验结果讨论
3．3 石墨烯纳米通道的制备和表征
3．3．1 石墨烯纳米通道制备流程
3．3．2 石墨烯纳米通道制备
3．3．3 实验结果讨论
3．4 其他材质的刻蚀加工和表征
3．4．1 抛光硅片的刻蚀加工和表征
3．4．2 PE薄膜纳米孔制备
3．5 本章小结
第四章 基于纳米通道的离子电流和DNA分子检测
4．1 引言
4．2 理论基础
4．2．1 粒子扩散理论
4．2．2 实验原理及装置
4．3 实验设备、试剂和步骤
4．4 氮化硅纳米通道离子电流和λ-DNA分子检测实验
4．4．1 氮化硅纳米通道性质
4．4．2 氮化硅纳米通道离子电流及λ-DNA分子检测
4．4．3 实验结果分析和讨论
4．5 石墨烯纳米通道离子电流和λ-DNA分子检测实验
4．5．1 石墨烯纳米通道性质
4．5．2 石墨烯纳米通道离子电流及λ-DNA分子检测
4．5．3 实验结果分析
4．6 实验优化
4．6．1 优化石墨烯样品制备
4．6．2 优化样品结构
4．7 本章小结
第五章 总结与展望
5．1 研究工作总结
5．2 研究工作展望
致谢
参考文献
