光纤激光器光学膜的研究与制备

摘要

为了进一步减少激光在传输过程中的光能损失，针对多模光纤和光学系统中的光学零件，根据光学薄膜的理论，设计并制备了减反射膜和抗激光的高反射膜。并对激光膜的镀膜材料、膜系设计、沉积工艺及离子辅助沉积参数等进行了深入研究。利用真空镀膜技术，利用TFC软件进行膜系设计，有效的提高了激光损伤阈值，解决了低温冷镀的膜层牢固性问题。通过对镀制后基片的测试结果分析，调整镀膜工艺参数和监控方法减小了膜厚误差。制备的减反膜的反射率R<0.2％，高反射膜当激光以25°-65°入射时，其反射率R>99.7％。