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GaAs基InAs/GaSb超晶格生长及结构研究

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  • 作者

    关志强;

  • 作者单位

    长春理工大学;

  • 授予单位 长春理工大学;
  • 学科 微电子学与固体电子学
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 魏志鹏,唐吉龙;
  • 年度 2018
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类 计算技术、计算机技术;
  • 关键词

    GaAs; InAs; 超晶格; 生长;

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