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摘 要
Abstract
第 1 章 绪论
1.1 研究背景与意义
1.2 国内外研究现状
1.2.1 硬质合金刀片制备工艺
1.2.2 工艺参数数据库决策
1.2.3 工件表面粗糙度研究
1.2.4 车削工艺参数优化
1.2.5 目前存在的主要问题
1.3 研究目标及内容
1.3.1 研究目标
1.3.2 研究内容
第 2 章 CMP硬质合金刀片的制备
2.1 引言
2.2 化学机械抛光原理
2.3 硬质合金刀片前刀面多工序CMP抛光实验
2.3.1 实验设备及实验材料
2.3.2 多工序CMP工艺流程设计
2.3.3 抛光液磨粒选择
2.3.4 多工序CMP硬质合金刀片的实验方案
2.3.5 多工序CMP抛光实验数据采集
2.3.6 多工序CMP刀片前刀面的表面形貌对比分析
2.4 小结
第 3 章 难加工材料的工件表面粗糙度车削实验研究
3.1 引言
3.2 工件表面粗糙度相关理论基础
3.3 CMP硬质合金刀片的车削实验
3.3.1 实验设备及实验材料
3.3.2 工件表面粗糙度的实验方案设计
3.3.3 车削实验数据的采集
3.4 钛合金工件表面粗糙度数据分析
3.4.1 切削参数及刀片表面粗糙度对工件表面粗糙度的影响分析
3.4.2 钛合金工件表面粗糙度模型建立
3.4.3 钛合金工件表面粗糙度模型验证
3.5 镍基高温合金工件表面粗糙度数据分析
3.5.1 切削参数及刀片表面粗糙度对工件表面粗糙度的影响分析
3.5.2 镍基高温合金工件表面粗糙度模型建立
3.5.3 镍基高温合金工件表面粗糙度模型验证
3.6 小结
第 4 章 基于工件表面粗糙度的刀片表面粗糙度与切削参数优化
4.1 引言
4.2 自适应变异优化粒子群算法
4.2.1 自适应变异优化粒子群算法原理
4.2.2 自适应变异优化粒子群算法流程
4.3 基于工件表面粗糙度的优化模型
4.3.1 多目标优化函数
4.3.2 钛合金表面粗糙度的优化模型
4.3.3 镍基高温合金表面粗糙度的优化模型
4.4 基于优化模型的刀片表面粗糙度与切削参数优化
4.4.1 钛合金优化模型的刀片表面粗糙度与切削参数优化
4.4.2 镍基高温合金优化模型的刀片表面粗糙度与切削参数优化
4.5 小结
第 5 章 基于刀片表面粗糙度的CMP抛光参数优化
5.1 引言
5.2 CMP抛光工艺参数决策基础理论
5.2.1 功能需求分析
5.2.2 混合推理机制
5.2.3 刀片表面粗糙度预测模型的建立
5.2.4 总体框架设计
5.3 CMP抛光工艺参数决策程序开发
5.3.1 管理系统的选择
5.3.2 前端开发软件的选择
5.3.3 决策程序开发
5.3.4 决策程序实例测试
5.4 基于决策程序的CMP硬质合金刀片抛光参数优化组合
5.4.1 钛合金优化模型的CMP抛光参数优化组合
5.4.2 镍基高温合金优化模型的CMP抛光参数优化组合
5.5 实验验证
5.5.1 钛合金CMP抛光参数与切削参数优化组合的实验验证
5.5.2 镍基高温合金CMP抛光参数与切削参数优化组合的实验验证
5.6 小结
结论与展望
参考文献
致谢
攻读硕士学位期间获得的科研成果及参与的科研项目
湘潭大学;
