脉冲电源等离子体快速渗氮工艺的研究

摘要

为了寻求脉冲电源等离子体快速渗氮工艺，本文进行了以下几个方面的工作：(1) 在基础实验部分，对多段快速离子渗氮工艺的参数进行筛选，并用正交试验的方法，寻找最佳的参数，制定出的最佳的试验方案。(2) 在实验的改进部分，利用基础实验部分提供的信息，改变快速离子渗氮工艺的气源和进行再次回火的工艺，找到一种更好的快速离子渗氮工艺方法。(3) 试分析出新的快速离子渗氮工艺的机理。(4) 对实验部分的问题点进行了分析，对设备改进提供了部分参考意见。