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摘 要
Abstract
第1章 绪 论
1.1.1研究背景
1.1.2研究意义
1.2 磁控溅射技术
1.2.1 磁控溅射技术原理
1.2.2 磁控溅射技术分类
1.3.1 HPPMS技术概念
1.3.2 HPPMS技术国内外研究现状
1.3.3 HPPMS电源国内外发展现状
1.4 本文的研究内容
第2章 HPPMS电源电路拓扑设计
2.1 HPPMS电源结构框图与工作原理
2.2 HPPMS电源主要技术指标
2.3 直流充电电源拓扑结构及工作原理
2.4 三相整流电路设计
2.4.1 三相整流桥计算与选取
2.4.2 输入电容
2.5 全桥逆变电路设计
2.5.1 全桥逆变电路拓扑结构及工作原理
2.5.2 移相全桥软开关工作原理分析
2.5.3 开关器件选择
2.5.4 全桥逆变电路元器件参数计算
2.5.5 IGBT驱动电路设计
2.6 高频变压器设计
2.6.1 高频变压器磁芯选取
2.6.2 高频变压器参数计算
2.7 脉冲发生电路设计
2.7.1 Marx脉冲发生器拓扑结构与工作原理分析
2.7.2 改进两级脉冲发生电路设计
2.7.3 储能电容组选型
2.7.4 IGBT矩阵电路设计及选型
2.8 电磁干扰抑制电路设计
2.9.1 电压采样电路设计
2.9.2 电流采样电路设计
2.9.3 过流及短路电路保护电路设计
2.10 本章小结
第3章 HPPMS电源控制系统设计
3.1 控制算法研究与分析
3.1.1 PI双闭环切换控制分析
3.1.2 PI电流前馈控制与模糊控制分析
3.1.3 PI电压环与滑模变结构电流环控制分析
3.1.4 变速积分PI控制分析
3.1.5 重复控制分析
3.1.6 复合控制算法选择与设计
3.2 控制对象建模分析
3.3 复合控制器设计
3.3.1 改进型重复控制器设计
3.3.2 变速积分PI控制器设计
3.4 DSP与单片机双控制系统设计
3.4.1 DSP控制系统设计
3.4.2 单片机控制系统设计
3.4.3 DSP与单片机通信设计
3.4.3 系统控制程序设计实现
3.5 本章小结
第4章 HPPMS电源仿真分析
4.1 直流充电电源开环仿真分析
4.2 脉冲发生器Simulink仿真分析
4.3 直流充电电源的闭环Simulink仿真分析
4.4 本章小结
第5章 HPPMS电源实验分析
5.1 实验结果分析
5.1.1 直流充电电源闭环实验结果分析
5.1.2 脉冲发生电路实验结果分析
5.3 本章小结
第6章 总结与展望
致 谢
参考文献
附 录
作者简介
攻读硕士学位期间研究成果
