毫米波分布式MEMS移相器的研究

摘要

本论文包括分布式MEMS移相器的理论分析、优化设计、性能改进等三部分内容。 本文以射频MEMS技术的发展应用为背景，介绍了射频分布式MEMS移相器的特点以及国内外的研究现状及发展趋势。 根据传输线理论和微波网络理论对分布式MEMS移相器进行了电路建模，根据所建立的模型提取设计参数，分析了移相器的Bragg频率、S参数、相移特性和损耗特性，然后采用电路仿真和全波分析的方法对所确定的参数进行了验证。此外还在已经确定的参数的基础上对分布式MEMS移相器的结构提出了改进的方案。

目录

文摘

英文文摘

第1章绪论

1.1移相器概述

1.1.1移相器技术发展背景

1.1.2 MEMS移相器

1.2国内外在该方向上的研究发展状况

1.3本课题的目的和意义

1.4本课题的来源及主要研究内容

第2章分布式MEMS传输线移相器设计理论

2.1引言

2.2分布式MEMS传输线移相器工作原理介绍

2.3分布式MEMS传输线移相器的制造工艺流程简述

2.4 Bragg频率的分析

2.5等效电路的分析

2.6 MEMS金属桥电容的求解

2.7 S参数的分析

2.8相移特性分析

2.9损耗特性分析

2.9.1介质损耗

2.9.2导体损耗

2.9.3辐射损耗

2.10激励电压的分析

2.11小结

第3章分布式MEMS移相器的优化设计

3.1引言

3.2设计方法讨论

3.3优化设计

3.3.1 S11参数的选取

3.3.2相移参数的选择

3.3.3 Bragg频率参数的选择

3.3.4 S21参数的选择

3.4 ADS电路仿真和全波分析仿真验证

3.5仿真分析误差

3.6本章小结

第4章分布式MEMS移相器的分析与设计

4.1引言

4.2锯齿形共面波导等效电路模型的分析

4.3锯齿形分布式MEMS移相器的等效电路模型的分析

4.4 ADS电路仿真和全波分析验证

4.5结论

结论

参考文献

攻读学位期间发表的学术论文

致谢

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