离子轰击对铜-镍扩散的影响
INFLUENCE OF ION BOMMENT TO THE DIFFUSION OF Cu-Ni
摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪 论
1.1 课题背景
1.2 化学热处理
1.3 化学热处理的基本过程
1.4 扩散机制及影响扩散的因素
1.5 等离子热扩渗过程中的异常扩散及其解释
1.6 本论文研究目的和主要内容
第2章 材料及试验方法
2.1 试验材料
2.2 试验设备
2.3 实验工艺
2.4 分析方法和手段
第3章 实验参数的优化
3.1 引言
3.2 抛光工艺的确定
3.3 磁控溅射工艺参数的选择
3.4 退火温度的确定
3.5 本章小结
第4章 离子轰击对扩散的影响
4.1 引言
4.2 研究扩散系数的理论及方法
4.3 实验结果与讨论
4.4 本章小结
第5章 离子轰击对缺陷的影响
5.1 引言
5.2 原理
5.3 实验结果分析
5.4 离子轰击后基体的微观组织
5.5 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书
致 谢
哈尔滨工业大学;