多晶硅纳米薄膜压阻特性及其压力传感器应用研究
INVESTIGATION ON PIEZORESISTIVE PROPERTIES OF POLYSILICON NANOFILM AND ITS APPLICATION FOR PRESSURE SENSORS
摘 要
Abstract
目 录
Contents
第1章 绪 论
1.1 研究背景
1.2 国内外研究现状
1.3 研究目的和意义
1.4 论文主要研究内容
第2章 工艺条件对多晶硅纳米薄膜压阻特性的影响
2.1 多晶硅薄膜的制备与结构表征
2.2 工艺条件对多晶硅纳米薄膜压阻特性的影响
2.3 工艺条件对多晶硅纳米薄膜压阻非线性的影响
2.4 多晶硅纳米薄膜优化工艺条件
2.5 本章小结
第3章 多晶硅纳米薄膜的杨氏模量研究
3.1 单晶硅的杨氏模量
3.2 方向余弦矩阵、欧拉角与立体角
3.3 多晶硅纳米薄膜的晶粒模型
3.4 多晶硅纳米薄膜的杨氏模量
3.5 本章小结
第4章 多晶硅纳米薄膜的压力传感器应用研究
4.1 半导体的压阻效应
4.2 多晶硅压力传感器的工作原理
4.3 多晶硅纳米膜压力传感器的设计
4.4 多晶硅纳米膜压力传感器的制作
4.5 本章小结
第5章 多晶硅纳米膜压力传感器的测试与分析
5.1 压力传感器静态特性技术指标
5.2 测试系统与测试方法
5.3 测试结果与分析
5.4 本章小结
结 论
参考文献
攻读博士学位期间发表的学术论文及其它成果
哈尔滨工业大学博士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学博士学位论文使用授权书
致 谢
个人简历