MEMS 扫描大口径红外激光外差干涉仪关键技术与实验研究
RESEARCH ON KEY TECHNIQUES OF MEMSSCANNING LARGE APERTURE INFRAREDLASER HETERODYNE INTERFEROMETERSYSTEM
摘要
Abstract
Contents
第1章 绪论
1.1 课题背景及研究目的和意义
1.2 激光外差干涉仪概述
1.3 国内外研究现状
1.4 关键技术与研究现状
1.5 论文主要内容
第2章 激光外差干涉仪相位非线性研究
2.1 引言
2.2 MEMS 激光外差干涉仪总体概述
2.3 相位非线性原理
2.4相位非线性分析
2.5 光纤外差干涉仪中的相位非线性效应
2.6 实验结果与分析
2.7本章小结
第3章 MEMS/F-Theta光学扫描系统设计与实现
3.1 引言
3.2 扫描系统概述
3.3 MEMS振镜特性参数的实验研究
3.4 F-Theta透镜设计
3.5 MEMS/F-Theta透镜扫描实验研究
3.6 本章小结
第4章 激光外差干涉仪平衡外差探测方法与实验
4.1 引言
4.2 双平衡式正交解调系统
4.3 双平衡式外差探测系统信噪比研究
4.4 平衡式外差探测系统信噪比实验研究
4.5 本章小结
第5章 激光外差干涉仪相位提取算法研究
5.1 引言
5.2 IQ正交解调法
5.3 FFT变换法
5.4 最小二乘法
5.5 算法比较
5.6 本章小结
第6章 MEMS扫描激光外差干涉仪集成与实验
6.1 引言
6.2 1550nm激光扫描外差干涉仪系统
6.3干涉仪系统测量显示界面
6.4 测量结果
6.5 本章小结
结论
参考文献
攻读博士学位期间发表的论文及其它成果
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明及使用授权说明
致谢
个人简历