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目录
第1章 绪 论
1.1课题来源及研究的背景和意义
1.2表面微结构形貌测量的研究现状
1.3图像拼接技术及研究现状
1.4表面微结构在位检测技术研究现状
1.5课题研究的主要内容
第2章 超精密车床光学在位检测系统的研制
2.1引言
2.2光学在位检测系统的方案设计
2.3光学在位检测系统的硬件设计
2.4光学在位检测系统的软件设计
2.5本章小结
第3章 微结构表面三维形貌的光学干涉测量与重构
3.1引言
3.2光学干涉特性
3.3微结构三维形貌测量原理
3.4垂直扫描白光干涉条纹峰值提取算法
3.5表面微结构三维形貌重构
3.6本章小结
第4章 微结构表面三维形貌拼接方法研究
4.1引言
4.2待拼接微结构形貌的获取及拼接误差分析
4.3微结构形貌图像的面内配准
4.4微结构形貌图像的面外偏差修正
4.5重合区域的融合
4.6本章小结
第5章 在位检测系统精度测试与集成实验研究
5.1引言
5.2在位检测系统的性能与精度评价
5.3图像像素的标定
5.4在位检测系统与机床集成
5.5在位测量及拼接测试
5.6本章小结
结论
参考文献
声明
致谢