第1章 绪论
1.1 课题背景及研究的目的和意义
1.2 国内外在该方向的研究现状及分析
1.3 主要研究内容
第2章 多晶氟化镁的材料力学性能研究
2.1 引言
2.2 多晶氟化镁的显微压痕实验
2.3 多晶氟化镁的纳米压痕实验
2.4 本章小结
第3章 多晶氟化镁的单颗粒磨削残余应力仿真研究
3.1 引言
3.2 多晶氟化镁本构模型的建立
3.3 磨削工艺参数对磨削力和残余应力的影响
3.4 多晶氟化镁表面凹坑对磨削质量的影响
3.5 多次磨削对多晶氟化镁残余应力的影响
3.6 本章小结
第4章 多晶氟化镁的超精密磨削工艺研究
4.1 引言
4.2 磨削纹路的仿真研究
4.3 多晶氟化镁的超精密平面磨削实验研究
4.4 多晶氟化镁表面质量的检测及分析
4.5 本章小结
结论
参考文献
声明
致谢