稀土氧化物激光晶体超精密磨削机理及工艺研究

摘要

稀土氧化物激光晶体是制作固体激光器核心部件的首选材料,在加工过程中容易产生脆性破碎和裂纹等损伤,这些损伤会严重影响激光器的输出功率和使役寿命。实现稀土氧化物激光晶体的高效、高表面完整性加工成为固体激光器元件制造领域的瓶颈问题。针对典型的稀土氧化物激光晶体,基于从准静态纳米压痕和划痕试验到高应变率条件下的磨削试验。