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摘 要
Abstract
目 录
第1章 绪 论
1.1.1 微机电系统的发展
1.1.2 压力传感器的发展
1.2 MEMS压力传感器的发展趋势
1.3 MEMS压力传感器的特点
1.4 压阻式MEMS压力传感器的研究方法概述
1.4.1 有限元方法的基本思想
1.4.2 FreeFem++软件简介
1.5.1 国外研究现状
1.5.2 国内研究现状
1.5.3 国内外研究简析
1.6 本文主要研究内容
第2章 压力传感器的原理与有限元方法求解
2.1 引言
2.2.1 压阻效应
2.2.2 惠斯顿电桥
2.2.3 压阻式压力传感器的原理
2.3.1 压力传感器弹性场方程的推导
2.3.2 有限元方程中的无量纲化
2.3.3 压力传感器电场方程的推导
2.3.4 压力传感器温度场方程的推导
2.3.5 温度应力方程的推导及其无量纲化
2.4 本章小结
第3章 压力传感器的输出规律
3.1 引言
3.2 弹性膜片在不同厚度时压力传感器的输出
3.3 掺杂电阻在不同宽度时压力传感器的输出
3.4 掺杂电阻与弹性膜片中心不同距离时压力传感器的输出
3.5 本章小结
第4章 考虑温度场时压力传感器的输出规律
4.1 引言
4.2 温度场影响下压阻式MEMS压力传感器的输出
4.2.1 温度场影响下不同弹性膜片厚度时压力传感器的输出
4.2.2 温度场影响下掺杂电阻不同宽度时压力传感器的输出
4.2.3 温度场影响下电阻与弹性膜片中心不同距离时传感器的输出
4.3 本章小结
第5章 考虑电场时压力传感器的输出规律
5.1 引言
5.2 考虑电场时压力传感器的温度场
5.3 考虑电场作用时压力传感器的输出
5.3.1 考虑电场时不同弹性膜片厚度时压力传感器的输出
5.3.2 考虑电场时不同掺杂电阻宽度时压力传感器的输出
5.3.3 考虑电场时电阻与膜片中心不同距离时压力传感器的输出
5.4 弹性场、温度场、电场同时作用时压力传感器的输出规律
5.5 本章小结
结 论
参考文献
哈尔滨工业大学学位论文原创性声明和使用权限
致 谢
