Al-Mg 合金化学机械抛光表面粗糙度及防氧化腐蚀的研究

摘要

在航空、航天、国防等很多领域，都广泛应用到铝镁合金，将化学机械抛光（CMP）技术引入铝镁合金的加工技术中，实现对Al-Mg 合金表面的极高精度、近无缺陷或杂质的超精密加工，得到高精度、低表面粗糙度和无损伤的表面，对于以上领域的应用具有重大意义。 铝镁合金表面抛光难度大。本文主要研究目的是如何降低铝镁合金的表面粗糙度，这就需要研究如何加快CMP 过程质量传输，使CMP 过程的机械作用和化学作用达到平衡。内容如下： (1)对Al-Mg 合金化学机械抛光机理进行分析，奠定表面粗糙度研究的基础。 (2) 运用无氧化剂碱性抛光法，制定适合铝镁合金特点的抛光液，从而降低铝镁合金表面粗糙度。实验分析Al-Mg 合金化学机械抛光中表面活性剂浓度和磨料浓度、pH 值、压力、转速、流量对Al-Mg 合金表面状态的影响。 (3)从铝镁合金的腐蚀原理入手，为保护合金表面，采取临时防护的方法，验证并得到较好的效果。 (4)为了降低表面粗糙度和平整化效果，对如何加快CMP 过程质量传输的因素着重进行分析，提高质量传输速率，使CMP 过程中的机械作用和化学作用达到平衡。

目录

文摘

英文文摘

第一章绪论

第二章铝镁合金的CMP 机理

第三章降低铝镁合金表面粗糙度的CMP 方案

第四章铝镁合金的腐蚀及防护

第五章CMP 试验设备和测量仪器

第六章铝镁合金的CMP 实验及分析

参考文献

致谢