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目录
1 绪论
1.1 微坑阵列及其应用
1.2 微坑阵列加工技术
1.3 本文研究意义
1.4 主要研究内容与创新点
2 掩膜电解加工微坑阵列基础理论
2.1 电解加工原理
2.2 电解加工特点
2.3 电解加工理论
2.4 极间间隙填充型掩膜电解加工技术
2.5 本章小结
3 极间间隙填充型直流掩膜电解加工微坑阵列实验研究
3.1 引言
3.2 实验装置研制
3.3 工艺参数对微坑加工效率的影响研究
3.4 微坑阵列质量分析
3.5 本章小结
4 极间间隙填充型脉冲掩膜电解加工微坑阵列实验研究
4.1 引言
4.2 工艺参数对微坑加工效率的影响研究
4.3 微坑阵列质量分析
4.4 本章小结
5 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
参考文献
作者简历
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