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第一章绪论
1.1本课题的研究意义
1.2国内外研究现状
1.2.1微滴量实现技术的国内外现状
1.2.2微滴量检测技术的国内外现状
1.3现有检测方法存在的问题及本研究的主要内容
1.4课题来源
第二章微滴检测系统的结构构成及悬臂分析
2.1微滴检测系统构成
2.1.1微滴检测系统结构
2.1.2微滴检测系统的组成
2.2原子力显微镜的基本原理
2.3聚酯悬臂挠度传感器
2.3本章小结
第三章微滴实现装置
3.1气泡式墨水喷射技术
3.1.1气泡式墨水喷射技术原理
3.1.2气泡式墨水喷射系统内部结构
3.2气泡式墨水喷射系统的控制方式
3.2.1气泡式墨水喷射系统的热响应
3.2.2气泡式墨水喷射系统的控制原理
3.3气泡式墨水喷射系统的装置结构
3.3.1气泡式墨水喷射系统的选用
3.3.2气泡式墨水喷射系统的定位驱动装置
3.3.3气泡式墨水喷射系统的驱动结构
3.3.4喷射墨水的平均检测
3.4本章小结
第四章AFM在微滴检测中的应用及减振系统的改进
4.1原子力显微镜在微滴检测中的应用
4.1.1原子力显微镜探针的选取
4.1.2原子力显微镜工作模式的选定
4.1.3原子力显微镜激光光路的调整
4.1.4原子力显微镜检测信号的提取
4.2原子力显微镜液体沙箱及弹簧减振系统
4.2.1沙箱及弹簧减振系统分析
4.2.2沙箱及弹簧减振系统理论分析
4.2.3沙箱及弹簧减振系统实验分析
4.3原子力显微镜液体减振系统的改进
4.3.1检测系统的振源分析
4.3.2液体阻尼减振装置的改进
4.3.3液体阻尼减振改进装置的测试
4.4墨水喷射检测试验
4.4本章小结
第五章微滴检测实验研究
5.1微滴量检测信号的转化
5.1.1微滴量转化为光检测信号
5.1.2 AFM的控制与反馈系统
5.1.3微滴量转化为电压检测信号
5.2微滴量的计算
5.2.1微滴量信号的提取
5.2.2微滴量信号的计算
5.2.3微滴喷射量重复检测实验
5.3小结
结论与展望
参考文献
攻读学位期间发表的论文
致 谢