摘要
第一章 绪论
1.1 课题研究背景及意义
1.2 直线驱动精密静压气浮平台发展状况
1.3 直线驱动伺服系统控制技术研究现状
1.4 本课题的来源与主要研究内容
1.4.1 本课题来源
1.4.2 本课题的主要研究内容
第二章 气浮平台伺服驱动控制系统建模与分析
2.1 永磁同步直线电机的基本结构
2.2 永磁同步直线电机的d-q轴数学模型
2.3 永磁同步直线电机解耦方程
2.4 气浮平台伺服控制系统建模与分析
2.4.1 电流环PI控制器建模
2.4.2 速度环PD控制器建模
2.4.3 位置环PID控制器建模
2.4.4 PID前馈控制器建模
2.5 单轴气浮平台控制系统仿真分析
2.5.1 气浮平台控制系统仿真建模
2.5.2 控制系统仿真结果分析
2.6 本章小结
第三章 气浮平台传统PID参数整定与运动实验研究
3.1 二维龙门式直线驱动精密气浮台实验系统
3.2 TURBO PMAC2伺服Ⅰ变量
3.3 基于TURBO PMAC2的PID算法原理
3.4 气浮平台传统PID参数整定
3.5 气浮平台运动实验
3.5.1 不同速度下单轴气浮平台直线运动实验
3.5.2 气浮平台两轴联动圆弧运动实验
3.6 本章小结
第四章 二维龙门式直线驱动精密气浮台MATLAB与ADAMS机电联合仿真研究
4.1 ADAMS+MATLAB机电一体化建模方法概述
4.2 气浮平台机械系统动力学建模
4.2.1 ADAMS动力学基本理论
4.2.2 气浮平台动力学建模
4.2.3 气浮平台气膜刚度参数辨识
4.3 机电联合仿真
4.3.1 气浮平台单轴机电联合仿真分析
4.3.2 气浮平台两轴联动机电联合仿真分析
4.4 本章小结
第五章 二维龙门式直线驱动精密气浮台定位精度实验研究
5.1 气浮平台单轴定位精度实验
5.1.1 气浮平台单轴直线运动定位精度实验平台搭建
5.1.2 直线运动轨迹实验方案
5.1.3 实验结果与分析
5.1.4 不同PID增益参数的直线运动定位精度实验
5.1.5 定位精度误差补偿研究与结果分析
5.2 气浮平台两轴联动轨迹精度实验
5.2.1 圆弧运动轨迹精度实验平台搭建
5.2.2 圆弧运动轨迹实验方案
5.2.3 实验结果与分析
5.3 本章小结
总结与展望
参考文献
攻读学位期间发表的论文
声明
致谢