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目录
第一章 绪 论
1.1 引 言
1.2 ZnO材料的基本性质
1.3 ZnO材料的应用
1.4 ZnO 薄膜的研究现状及进展
1.5 本论文的选题背景与主要研究内容
参考文献
第二章 薄膜的制备技术和表征方法
2.1 ZnO薄膜的制备技术
2.2 薄膜的表征技术
2.3 本论文样品的制备
参考文献
第三章 氧分压对ZnO/PS 薄膜的微结构及其光学特性影响的研究
3.1 ZnO/PS复合薄膜的结构形貌
3.2 氧氩比对ZnO/PS复合薄膜的结构的影响
3.3氧氩比对ZnO/PS复合薄膜光学特性的影响
3.4 本章小结
参考文献
第四章 退火温度对ZnO/PS薄膜的微结构及其光学特性影响的研究
4.1 退火温度对ZnO/PS复合薄膜的结构的影响
4.2 退火温度对ZnO/PS复合薄膜光学特性的影响
4.3 本章小结
参考文献
第五章 退火气氛对ZnO/PS 薄膜的微结构及其光学特性影响的研究
5.1 退火气氛对ZnO/PS复合薄膜的结构的影响
5.2退火气氛对ZnO/PS复合薄膜光学特性的影响
5.3 本章小结
参考文献
第六章 总结和展望
6.1 总结
6.2 展望
附录:攻读硕士学位期间发表的论文
致谢