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西北师范大学研究生学位论文作者信息
目录
中文摘要
英文摘要
第一章 绪 论
1.1 ZnO的基本性质及晶体结构
1.2 ZnO薄膜的特性
1.3 ZnO薄膜的缺陷
1.4 ZnO薄膜的掺杂
1 .5 研究意义与研究内容
参考文献
第二章 ZnO薄膜制备及表征方法
2 .1 磁控溅射法
2.2 ZnO薄膜的表征
参考文献
第三章 Ta掺杂ZnO薄膜结构和光学特性的研究
3 .1 引言
3 .2 实验部分
3 .3 结果与讨论
参考文献
第四章 温度对ZnO:Mg薄膜结构和光学特性的影响
4 .1 引言
4 .2 实验部分
4.3 衬底温度对ZnO:Mg薄膜结构和光学特性的影响
4.4 退火温度对ZnO:Mg薄膜结构和光学特性的影响
4 .5 本章小结
参考文献
第五章 总结与展望
5 .1 总结
5 .2 展望
附 录:硕士期间发表的论文
致谢
西北师范大学;