功率SIT、SITH的制造特点

摘要

本文系统地阐述了SIT、SITH的作用理论，介绍了SIT的结构、Ⅰ-Ⅴ特性、电流传输机制及沟道势垒的形成。在此理论基础上，结合器件制造的特点，对器件的相关参数进行了讨论分析，并给出了具体的定值。文章以制备优良电性能SIT为出发点，结合SITH制作的经验和存在的问题，设计了新的版图和工艺流程，并通过大量的实验，对部分工艺条件进行了调整。

目录

文摘

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第一章引言

第二章静电感应器件的作用理论

第三章重要参数的选取

第四章版图设计

第五章制造工艺

第六章槽、台刻蚀

第七章结论

参考文献

致谢