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厦门大学学位论文原创性声明及著作权使用声明
第一章前言
Part Ⅰ03环境制备和钝化多孔硅研究:第二章03环境制备和钝化多孔硅研究
§2.1多孔硅的制备
§2.1.1标准法
§2.1.2改进法
§2.2XPS测试分析5-ini-03-1h样品表面的氧化情况
§2.3新鲜样品PL比较
§2.3.1多孔硅样品发光机理解释
§2.3.2FTIR测试
§2.4改进法制备样品的PL稳定性研究
§2.4.15-ini-03-1h样品在高功率激光激发下的PL衰减情况
§2.4.2 5-ini-03-1h样品光致发光谱及表面化学成分稳定性的研究
§2.4.303纯化多孔硅存放实验与别人的存放研究比较
§2.5第一部分小结
参考文献
Part ⅡSi-MSM-PDR的器件优化设计与制备:第三章 Si-MSM-PD的基本工作原理和器件优化设计
§3.1硅MSM探测器的工作原理
§ 3.1.1能带结构
§3.1.2MSM探测器的电流-电压特性
§3.1.3MSM探测器的电容-电压特性
§3.1.4MSM探测器的几个主要性能参数
§3.2U型凹槽电极Si-MSM-PD的结构优化设计
§3.2.1凹槽电极器件结构的设计
§3.2.2钝化层的设计
§3.2.3器件结构尺寸的设计
§3.2.4金属电极的选择
§3.2.5器件设计结果
参考文献
Part ⅡSi-MSM-PDR的器件优化设计与制备:第四章版图设计与器件制备
§4.1版图设计
§4.2器件制备
参考文献
Part ⅡSi-MSM-PDR的器件优化设计与制备:第五章器件测试分析与结论
§5.1暗电流测试并分析比较
§5.2光电流测试并分析比较
§5.3相对响应光谱
§5.4绝对光电响应度
§5.5 Part Ⅱ 小结
参考文献
第六章总结
附录 发表论文
致谢