声明
摘要
第一章 绪论
1.1 引言
1.2 ZnO的基本特性、晶体结构
1.3 氧化锌的制备手段
1.4 氧化锌的能带及能带工程
1.5 光学性质以及缺陷和掺杂
1.6 ZnO的应用
1.7 本文的主要工作内容
参考文献
第二章 实验生长设备和技术表征方法
2.1 分子束外延技术
2.2 薄膜的表征技术
2.2.1 反射高能电子衍射(RHEED)
2.2.2 X射线衍射(XRD)
2.2.3 同步辐射光源吸收谱(XAS)
2.2.4 原子力显微镜(AFM)
2.2.5 X射线光电子能谱(XPS)
2.2.6 透射谱(XL)
2.2.7 光致发光(PL)
2.2.8 扫描电子显微镜(SEM)
参考文献
第三章 在氧化镁(111)面上通过衬底预处理的方法来提高氧化锌薄膜单晶的质量
3.1 引言
3.2 氧化锌样品的制备与测试
3.3 RHEED图谱的分析
3.4 XRD衍射图谱的分析
3.5 透射谱的分析
3.6 AFM的结果
3.7 小结
参考文献
第四章 在氧化镁衬底上生长ZnO薄膜以及掺氮,掺镁的研究
4.1 引言
4.2 氧化锌薄膜,掺氮氧化锌薄膜,镁、氮共掺氧化锌薄膜的制备
4.2.1 薄膜样品的制备
4.3 结果分析
4.3.1 表面形貌的表征
4.3.2 XRD衍射图谱的分析
4.3.3 光电子能谱分析
4.4.本章总结
参考文献
第五章 总结与展望
硕士期间发表的论文
致谢