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目录
1 绪论
1.1 问题的提出及研究意义
1.2 国内外研究现状
1.3 本文研究的目的和主要内容
2 氮化铝薄膜的制备和表征
2.1 薄膜的制备方法
2.2 氮化铝薄膜的制备
2.3 氮化铝薄膜的表征
2.4 本章小结
3 氮化铝薄膜的性能分析
3.1 热学性能分析
3.2 电学性能分析
3.3 光学性能分析
3.4 本章小结
4 氮化铝薄膜在LED系统上的应用
4.1 引言
4.2 实验
4.3 结果和讨论
4.4本章小结
5 结论与展望
5.1 结论
5.2 展望
致谢
参考文献
附录