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论文说明:插图和附表清单
独创性声明和关于论文使用授权的说明
第一章绪论
1.1低温泵的国内外研究与应用现状
1.2选题的意义和目的
1.3论文的思路
第二章G-M低温泵的结构和工作过程分析
2.1低温泵的整体结构分析
2.2 G-M制冷机的分析和计算
2.3氦气压缩机的结构分析
2.4低温泵的抽气机理
2.5低温吸附的详细分析
2.6热量对低温泵的影响与计算
2.7低温泵切换点的分析与计算
2.8低温泵的容量分析
2.9低温泵再生的分析
2.10低温泵自动再生的分析
第三章低温泵的特性测试
3.1制冷机的热负载测试
3.2低温泵的控温测试
3.3低温泵的容量测试
3.4低温泵的快速再生测试
3.5低温泵与扩散泵抽速的比较测试
本章小结
第四章低温泵系统的故障分析
4.1压缩机故障对低温泵抽气性能的影响
4.2低温泵故障对低温泵抽气性能的影响
4.3低温泵再生故障诊断
4.4低温泵系统故障实例
本章小结
第五章结论及展望
参考文献
致谢
个人简历