低温泵、低温泵系统及低温泵的再生方法

摘要

本发明的低温泵(10)具备低温板(60)及设置于低温板(60)并且能够吸附不凝性气体的吸附区域(64)。吸附区域(64)具备不燃性吸附材料，该不燃性吸附材料含有硅胶作为主要成分。低温泵(10)的再生方法具备如下步骤：向低温泵(10)供给吹扫气体；在低温板温度超过水的三相点温度之前停止向向低温泵(10)供给吹扫气体；在停止供给吹扫气体的同时，或者在停止供给之后，开始低温泵(10)的真空排气；使冷凝于低温泵(10)内的冰通过升华而气化；及根据低温泵(10)内的压力及压力上升率中的至少一个停止低温泵(10)的真空排气。