Department of Chemical Engineering and Materials Science, University of Minnesota Minneapolis, MN 55455, U.S.A;
机译:等离子体增强化学气相沉积法沉积低介电常数SiOC(-H)薄膜的纳米力学分析
机译:在低基板温度下通过等离子体增强化学气相沉积和热线化学气相沉积沉积的薄膜的机械和压阻特性
机译:等离子体增强化学气相沉积聚合物薄膜化学结构与介电性能的关系
机译:等离子体增强化学蒸气沉积电介质的应力滞后与力学表征
机译:低介电常数材料的等离子体化学气相沉积。
机译:在Nafion负载的电化学沉积钴纳米粒子上进行等离子体增强化学气相沉积产生的金属/碳杂化纳米结构
机译:等离子体增强化学气相沉积氧氮化硅薄膜,用于光波导桥,用于机械传感器