National University of Singapore, Singapore 119260;
机译:用于加工硅片的ELID研磨工艺的表征
机译:硅镜ELID研磨和MRF纳米精密协同精加工工艺的开发
机译:硅片的ELID研磨:文献综述
机译:用于研磨硅晶圆的先进ELID工艺开发
机译:碳化硅研磨运动学的单面电解过程修整(ELID)研磨
机译:用于表面精加工和电性能的单晶硅晶片激光研磨
机译:硅片的ELID研磨:文献综述
机译:健康危害评估报告:HETa-2008-0045-3145,2011年11月。硅晶片研磨过滤过程产生的未知气体 - 科罗拉多州