机译:GaN MESFET的电感耦合高密度等离子体诱导的蚀刻损伤
机译:抑制Cl-2等离子体在高温下对GaN的等离子体诱导的损伤
机译:使用SiCI_4和SF_6表征选择性隐埋GaN / lnAIN / AIN / GaN异质结构的等离子体诱导损伤
机译:电感耦合高密度等离子体诱导GaN Mesfet的蚀刻损伤
机译:在高密度,低压,感应耦合碳氟化合物等离子体中选择性蚀刻二氧化硅的机制
机译:外延成分对ICP-OES测定的N面GaN KOH蚀刻动力学的影响
机译:高密度等离子体诱导的甘蓝抗蚀刻伤害
机译:GaN的高密度等离子体诱导蚀刻损伤