School of Electrical Electronic Engineering University of Adelaide Adelaide, SA 5005, Australia;
microelectromechanical systems (MEMS); surgical tools; MEMS sensors; minimal invasive surgery (MIS);
机译:回顾MEMS器件中的微通道最近的应用
机译:脉冲DC磁控磁控溅射钛氮化膜,用于MEMS器件中的局部加热应用
机译:电沉积金的微弯曲测试,以用作MEMS器件中的可移动组件
机译:可穿戴设备及其在外科机器人控制和P-MEDICS中的应用
机译:集成多器件CMOS-MEMS IMU系统和RF MEMS应用。
机译:用于液体传感应用的Love-Mode MEMS器件
机译:用于液体传感应用的爱模mEms器件
机译:集成多器件CmOs-mEms ImU系统和RF mEms应用