International Business Machines Corporation, Essex Junction, Vermont, USA;
International Business Machines Corporation, East Fishkill, New York, USA;
RTP; historical review; high k; ultra fast ramp; temperature control; RTCVD; silicide;
机译:评估用于CMOS制造的快速热处理系统
机译:深亚微米CMOS技术,具有通过快速热处理制备的经过再氧化或退火的氮化氧化物栅极电介质
机译:通过沉积后快速热退火控制多晶硅栅的晶粒尺寸,提高深亚微米CMOS工艺的产量
机译:亚半微米CMOS IC制造的快速热处理
机译:一种深亚微米单栅极CMOS技术,使用通过快速热化学气相沉积形成的原位掺杂硼的多晶硅锗锗栅极
机译:使用CMOS工艺的微机械磁传感器的建模和制造无需任何后处理
机译:采用0.18美元/微米CMOS工艺制造的CMOS单片有源像素传感器的非电离辐射硬度
机译:原位快速等温加工在(100)和(111)Inp上II-a氟化物膜固相外延生长中的作用