硬脆材料の微細切削機構に及ぼす工具すくい角の影響

摘要

ソーダガラス，石英ガラス，サファイア，シリコンなどの硬い脆性材料は機械的・化学的・物理的に様々な特徴を有しているため，生物学，医学，化学，電子工学，機械工学などの分野で広く利用されているが，これらの材料表面に微細溝などの微細構造を作成することによりさらに新たな機能を創出できると期待されている。