Tokyo Institute of Technology, Kanagawa, Japan;
NTT Advanced Technology Corporation, Kanagawa, Japan;
NTT Advanced Technology Corporation, Kanagawa, Japan;
CREST, JST, Saitama, Japan;
Tokyo Institute of Technology, Kanagawa, Japan;
Tokyo Institute of Technology, Kanagawa, Japan;
Tokyo Institute of Technology, Kanagawa, Japan;
Springs; Accelerometers; Micromechanical devices; Analytical models; Gold; Sensors;
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