机译:定制照明,可在掩模对准仪光刻系统中优化工艺窗口并提高良率
机译:在X射线光刻中使用扩大的图案掩模在线条和空间图案形成中通过两次曝光极大地扩大了接近间隙(曝光方法向对称照明的演变)
机译:具有结构化光照明的时间聚焦宽场双光子显微镜的轴向分辨率和对比度的改善
机译:使用优化照明和面罩设计改进焦点曝光纬度
机译:使用大规模的DEP专注设计优化的EVTOL概念的系统级性能调查
机译:利用结构化光照明改善时间聚焦宽场双光子显微镜的轴向分辨率和对比度
机译:两种不同纬度的人类照明曝光的季节变化
机译:经济实惠的设计:将基于流程的制造成本实施到传统的以绩效为导向的多学科设计优化中的方法