回転楕円ミラーによるナノ集光ビームを用いた軟X 線タイコグラフィ顕微鏡の開発

摘要

位相回復法の一種であるタイコグラフィ法は，被測定サンプルをプローブビームに対して面的に走査しながら多数の回折強度パターンを取得し，ビームの波動場とサンプルの複素透過率の双方を回復させる測定手法である．原理上，プローブのビーム径よりも大きなサンプルがビーム径よりも小さな横方向分解能で計測される．波長1 nm から10 nm の軟X 線領域では，フレネル・ゾーンプレート(FZP)による集光ビームを使用する実験例が多数報告されている．しかしながら，FZP 光学系では色収差の観点からビームの光子エネルギーを大きく変更することが難しい．