Faculty of Applied Sciences, Delft University of Technology, Lorentzweg 1, 2628 CJ, Netherls;
interferometry; EUVL; phase shifting; metrology;
机译:基于镜像扫描波前折叠干涉仪,适用于相干测量
机译:机器运行过程中使用横向剪切干涉仪测量镜面的形状
机译:低阶红外法布里-珀罗干涉仪介电堆叠反射镜反射相移的测量
机译:用于EUVL镜子基板的新型干涉仪的测量
机译:射频耦合高镜比磁镜中快速电子产生,陷波和加速的测量和表征
机译:基于内部反射镜的高灵敏度光纤法布里-珀罗干涉仪用于折射率测量
机译:用于EUVL镜子基板的新型干涉仪的测量
机译:关于EUVL掩模基板开发的报告:低膨胀基板精加工II