State Key Lab. for Mech. Manuf. Syst., Xi'an Jiaotong Univ., Xian;
etching; finite element analysis; microsensors; piezoresistive devices; pressure sensors; silicon-on-insulator; anisotropy chemical etching; finite element method; micro SOI pressure sensors; micro piezoresistive pressure sensor; silicon on insulator; stress distribution; temperature coefficient; FEM; High temperature; Pressure; SOI;
机译:用于微压测量的新型结构压阻式压力传感器的设计优化和制造
机译:用于轮胎压力测量系统(TPMS)的微压力传感器的制造和结构设计
机译:低压测量新型结构压阻压力传感器的设计与分析
机译:微型SOI压力传感器的分析与结构设计
机译:汽车应用中典型的微型压力传感器的设计和分析。
机译:用于低压测量的压阻压力传感器的机械结构设计:通过传感器灵敏度的提高进行的计算分析
机译:用于微压测量的新型结构压阻压力传感器的设计优化和制造