Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
JCMwave GmbH, Bolivarallee 22, D-14050 Berlin, Germany;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Dansk Fundamental Metrologi, Matematiktorvet 307, DK-2800 Kongens Lyngby, Denmark;
Dansk Fundamental Metrologi, Matematiktorvet 307, DK-2800 Kongens Lyngby, Denmark;
Dansk Fundamental Metrologi, Matematiktorvet 307, DK-2800 Kongens Lyngby, Denmark;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Helmholtz- Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Albert-Einstein-Str. 15, D-12489 Berlin, Germany;
Helmholtz- Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Albert-Einstein-Str. 15, D-12489 Berlin, Germany;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Bundesallee 100, 38116 Braunschweig and Abbestrasse 2- 12, 10587 Berlin;
Scatterometry; OCD; ellipsometry; CD metrology; reference standard; traceability; tool matching;
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