与散射测量术测量中的光栅非对称相关的不精确性的减轻

摘要

本发明提供散射测量术叠加目标以及目标设计及测量方法，其减轻基于衍射的叠加测量中的光栅非对称的效应。目标包括具有取代解析粗节距光栅的亚解析结构的额外单元，且/或包括具有粗节距周期性的交替亚解析结构，以隔离并移除由于光栅非对称所导致的不精确性。测量方法利用正交偏光照明，以相对于设计的目标结构，隔离不同测量方向上的所述光栅非对称效应。