InfraTec GmbH, Gostritzer Str. 61-63, 01217 Dresden, Germany;
InfraTec GmbH, Gostritzer Str. 61-63, 01217 Dresden, Germany;
Universitaet Chemnitz, Zentrum fuer Mikrotechnologien, 09107 Chemnitz, Germany;
Universitaet Chemnitz, Zentrum fuer Mikrotechnologien, 09107 Chemnitz, Germany;
Fraunhofer ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz, Germany;
Fraunhofer ENAS, Technologie-Campus 3, 09126 Chemnitz, Germany;
机译:基于Fabry-Perot MEMS的短波红外光谱仪的设计与表征
机译:用于可调谐MEMS Fabry-Perot光学滤波器的PECVD氮化硅薄膜的机械性能的确定
机译:液晶弹性体致动的紧凑型中红外法布里 - 珀罗过滤器
机译:可调谐MEMS Fabry-Perot滤波器用于红外线微波器:综述
机译:在长波长红外区域中基于MEMS的可调谐法布里 - 珀罗干涉仪滤波器的设计,仿真,制造和表征
机译:利用电磁力为远红外波长设计的可调法布里-珀罗干涉仪
机译:使用基于MEMS的可调Fabry-Perot滤波器同时进行波长和轨道角动量解复用
机译:电子可调谐,一阶法布里 - 珀罗红外滤光片