机译:负混合溶胶-凝胶抗蚀剂作为硬蚀刻掩模,用于通过干蚀刻进行图案转印
机译:将图案化的有机抗蚀剂转化为高分辨率图案转移的高性能无机硬掩模
机译:暴露干燥模式:在不同的干燥条件下,使用电阻层析成像技术监测砂岩中毛细血管的上升
机译:电阻面罩和拓扑结构的干式图案化
机译:聚吡咯(PPy)涂层图案化垂直碳纳米管(pvCNT)干式ECG电极与新型无线电阻模拟无源(WRAP)ECG传感器集成在一起
机译:使用光子束对拓扑带结构进行微米级电子构图
机译:通过干法刻蚀纳米线生长的氧化物掩模的图形
机译:使用中性氧气束在抗蚀剂干式图案化中的氧化物降解效应