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SEM Imaging of Resist Patterns Fabricated Through Imprint Lithography Techniques

机译：通过压印光刻技术制作的抗蚀剂图案的SEM成像

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《Microscopy and microanalysis.;Microscopy and microanalysis.》||p.628-629|共2页
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C.T. Schamp; B.T. Valdez; L.K. Ballast; A. Gill; S.A. Pierce; L. Brown; C. Brooks; E. Thompson; B. Roth;
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中图分类显微镜;
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