微細ピッチ・多極着磁リング磁石を用いた高トルクマイクロフラットモータ

摘要

電磁アクチュエータは，静電や圧電方式と比べ，低電圧駆動が可能，耐塵・耐湿性に優れ，大ストロークを得ることができるなどの利点がある．現在までに，永久磁石を用いたMEMSスケールのモータの研究例は少ない．また，数少ない報告例のマイクロフラットモータは，サイズを考慮しても低トルクである．その理由として，十分な磁気特性を示す永久磁石の加工法，着磁法が未検討であることが挙げられる．厚み1方向に着磁された扁平形状の磁石は，反磁界のため，表面磁束密度が弱まる．前述のフラットモータは，極数が12極で磁石幅に対して厚みが薄く，極数が少ないリング磁石を用いているため，サイズに見合ったトルクを得ることができない可能性がある． 表面磁束密度の向上のため，レーザ加熱を用いた微細着磁の研究(2)がなされており，永久磁石の局所的な昇温による保磁力の低下を利用し，比較的小さな外部磁場で，局所的に着磁する方法が検討されている．この手法では，加熱にレーザ照射を用いるため，微細ピッチかつ複雑な形状の着磁が可能である．