Microelectromechanical systems; Heat flux; Sensors; Quartz;
机译:缝隙对垂直梁MEMS谐振器热弹性品质因数的影响
机译:压阻法抑制MEMS束谐振器中的热弹性阻尼
机译:通风MEMS束谐振器热弹性阻尼的有限元分析。
机译:通过引入垂直槽的MEMS谐振梁的热弹性阻尼抑制方法
机译:MEMS谐振器中的能量耗散:挠曲谐振器的流体阻尼和热弹性阻尼。
机译:开槽音叉MEMS谐振器的频率稳定性和热弹性效应分析
机译:热弹性阻尼对具有复杂梁状悬架的最新MEMS陀螺仪总Q因子的影响